GB/T 26249-2010 电子工业用气体 硒化氢

标准号：GB/T 26249-2010
中文标准名称：电子工业用气体 硒化氢
英文标准名称：Gases for electronic industry.Hydrogen selenide
标准类型：G86
发布日期：2011/1/14 12:00:00
实施日期：2011/5/1 12:00:00
中国标准分类号：G86
国际标准分类号：71.100.20
引用标准：GB 190;GB/T 3723;GB 5099;GB/T 5832.1;GB 7144;GB/T 8984;GB/T 11640;GB 14193;GB/T 26571;《气瓶安全监察规程》
适用范围：本标准规定了硒化氢的技术要求,试验方法以及包装、标志、贮运及安全。 本标准适用于硒铝、硒镁合金化合物水解、单质硒与氢高温反应等方法获得并经精制得到的硒化氢产品。它主要用于太阳能电池、半导体和集成电路生产的外延、离子注入和掺杂。