GB/T 19921-2005 硅抛光片表面颗粒测试方法

标准号：GB/T 19921-2005
中文标准名称：硅抛光片表面颗粒测试方法
英文标准名称：Test method of particles on silicon wafer surfaces
标准类型：H81
发布日期：2005/9/19 12:00:00
实施日期：2006/4/1 12:00:00
中国标准分类号：H81
国际标准分类号：77.040.01
引用标准：ASTM F 1620-1996;SEMI M1-0302;ASTM F 1621-1996
适用范围： 本标准规定了应用扫描表面检查系统(SSIS)对硅抛光片表面颗粒进行测试、计数和报告的程序。 本标准适用于硅抛光片，也可适用于硅外延片或其他镜面抛光片（如化合物抛光片）。 本标准也可适用于观测硅抛光片表面的划痕、橘皮、凹坑、波纹等缺陷，但这些缺陷的检测、分类依赖于设备的功能，并与检测时的初始设置有关。 注：本标准涉及的方法通常选用波长(48~6 33)nm的激光光源，*常用的是488nm的氩离子激光器；目前可测量的*小值颗粒直径为0.06μm或更小些。