标准号：GB/T 15871-1995
中文标准名称：硬面光掩模基板
英文标准名称：Hard surface photomask substrates
标准类型：L97
发布日期：1995/12/22 12:00:00
实施日期：1996/8/1 12:00:00
中国标准分类号：L97
国际标准分类号：31.030
适用范围： 本标准规定了硬面光掩模用玻璃基板的要求、试验方法、检验规则等内容。 本标准适用于硬面光掩模用玻璃基板（以下简称基板）。
GB/T 15871-1995 硬面光掩模基板
百检网 2021-07-30
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