标准号：GB/T 15870-1995
中文标准名称：硬面光掩模用铬薄膜
英文标准名称：Chrome thin films for hard surface photomasks
标准类型：L97
发布日期：1995/12/22 12:00:00
实施日期：1996/8/1 12:00:00
中国标准分类号：L97
国际标准分类号：31.030
适用范围： 本标准规定了硬面光掩模用铬薄膜的要求、试验方法、检验规则等内容。 本标准适用于硬面光掩模用铬薄膜（以下简称铬薄膜）。
GB/T 15870-1995 硬面光掩模用铬薄膜
百检网 2021-07-30
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