标准号：ISO 14237-2000
中文标准名称：表面化学分析 次级离子质谱法 用均匀掺杂材料测定硅中硼原子浓度
英文标准名称：Surface chemical analysis - Secondary-ion mass spectrometry - Determination of boron atomic concentration in silicon using uniformly doped materials (available in English only)
标准状态：W
标准类型：国际标准
有效日期：2010-07-15
国际标准分类号：71.040.40
被以下标准代替：ISO 14237-2010
ISO 14237-2000 表面化学分析 次级离子质谱法 用均匀掺杂材料测定硅中硼原子浓度 W
百检网 2021-07-30
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