DIN EN ISO 14644-2-2016 洁净室及相关受控环境第2部分：用粒子浓度监测提供与空气洁净度相关的洁净室性能的证据 A

百检网 2021-07-30

标准号：DIN EN ISO 14644-2-2016
中文标准名称：洁净室及相关受控环境第2部分：用粒子浓度监测提供与空气洁净度相关的洁净室性能的证据
英文标准名称：Cleanrooms and associated controlled environments - Part 2: Monitoring to provide evidence of cleanroom performance related to air cleanliness by particle concentration (ISO 14644-2:2015); German version EN ISO 14644-2:2015
标准状态：A
标准类型：国际标准
发布日期：2016-05-01
国际标准分类号：13.040.35
部分代替标准：DIN EN ISO 14644-2-2001

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