GB/T 32816-2016 硅基MEMS制造技术 以深刻蚀与键合为核心的工艺集成规范

标准号：GB/T 32816-2016
中文标准名称：硅基MEMS制造技术 以深刻蚀与键合为核心的工艺集成规范
英文标准名称：Silicon-based MEMS fabrication technology.Specification for criterion of the combination of the deep etching and bonding process
标准类型：L55
发布日期：2016/8/29 12:00:00
实施日期：2017/3/1 12:00:00
中国标准分类号：L55
国际标准分类号：31.200
引用标准：GB/T 19022;GB/T 26111;GB 50073
适用范围：本标准规定了采用以深刻蚀与键合为核心的工艺集成进行MEMS器件加工时应遵循的工艺要求和质量检验要求。本标准适用于基于以深刻蚀与键合为核心的工艺集成的加工和质量检验。