GB/T 18994-2014 电子工业用气体高纯氯

百检网 2021-07-31

标准号：GB/T 18994-2014
中文标准名称：电子工业用气体高纯氯
英文标准名称：Gases for electronic industry.High purity chlorine
标准类型：G86
发布日期：2014/12/22 12:00:00
实施日期：2015/7/1 12:00:00
中国标准分类号：G86
国际标准分类号：71.100.20
适用范围：本标准规定了高纯氯的技术要求、试验方法、检验规则及包装、标志、运输和储存。本标准适用于以工业液氯为原料,采用物理吸附等过程生产的高纯氯产品。该产品主要用于大规模集成电路、光导纤维、高温超导、平板显示器、太阳能等技术领域。分子式:Cl

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