GB/T 15862-2012 离子注入机通用规范

百检网 2021-07-31

标准号：GB/T 15862-2012
中文标准名称：离子注入机通用规范
英文标准名称：General specification of ion implantation equipment
标准类型：L97
发布日期：2012/11/5 12:00:00
实施日期：2013/2/15 12:00:00
中国标准分类号：L97
国际标准分类号：31.550
引用标准：GB/T 191;GB/T 4857.7-2005;GB/T 5080.7-1986;GB/T 6388-1986;GB/T 13384-1992;GB 18209.1;SJ/T 142;SJ/T 1276;SJ/T 10674
适用范围：本标准规定了离子注入机的术语、产品分类、技术要求、试验、检验规则和标志、包装、运输、贮存。本标准适用于半导体工艺用电能离子注入机。其他离子注入机亦可参照使用。

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