GB/T 24469-2009 电子工业用气体.5N氯化氢

标准号：GB/T 24469-2009
中文标准名称：电子工业用气体.5N氯化氢
英文标准名称：Gas for electronic industry.5N hydrogen chloride
标准类型：G86
发布日期：2009/10/15 12:00:00
实施日期：2009/12/1 12:00:00
中国标准分类号：G86
国际标准分类号：71.100.20
引用标准：GB 190;GB 5099;GB/T 5832.2;GB/T 6681;GB 7144;GB 13004;GB 14193;GB 15258;GB 15382;GB/T 16942;GB/T 16943;GB/T 16944;GB 17265;定量包装商品计量监督管理办法;气瓶安全监察规程;气瓶安全监察规定;危险货物运输规则
适用范围：本标准规定了电子工业用气体5N氯化氢的技术要求、检验方法、检验规则以及包装、标志、运输、储存、充装、分装和安全要求。本标准适用于以工业氯化氢为原料经净化制得的瓶装液化氯化氢。氯化氢主要用于微电子工业半导体器件生产中单晶硅片气相抛光、外延和基座腐蚀工艺。也可用于硬质合金和玻璃表面处理、医药中间体和精细化学品制造、科学研究等领域。分子式:HCl相对分子质量:36.46l(按2005年国际相对原子质量)