KS D ISO 14606-2003 表面化学分析.溅射深度剖面测定.作为参考材料的层系统最优化

百检网 2021-08-02

标准号：KS D ISO 14606-2003
中文标准名称：表面化学分析.溅射深度剖面测定.作为参考材料的层系统*优化
英文标准名称：Surface chemical analysis－Sputter depth profiling－Optimization using layered systems as reference materials
标准类型：G04
发布日期：2003/10/6 12:00:00
实施日期：2003/10/6 12:00:00
中国标准分类号：G04
国际标准分类号：71.040.40
适用范围：이 규격은 오제 전자 분광법, X선 광전자 분광법 및 이차 이온 질량 분석법에서 장비

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