标准号：SJ 2593-1985
中文标准名称：高纯四氯化硅
英文标准名称：Pure silicon tetrachloride
标准类型：L90
发布日期：1999/12/31 12:00:00
实施日期：1999/12/31 12:00:00
中国标准分类号：L90
国际标准分类号：31-030
适用范围：本标准适用于生长半导体器件及集成电路的硅外延片和生产光通讯器什川光纤予制件的四氯化硅。
SJ 2593-1985 高纯四氯化硅
百检网 2021-08-04
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