DIN EN ISO 14644-2-2016 洁净室和相关控制环境.第2部分:用粒子浓度监测提供与空气洁净度相关的洁净室性能的证据(ISO 14644-2-2015).德文版本EN ISO 1464

标准号：DIN EN ISO 14644-2-2016
中文标准名称：洁净室和相关控制环境.第2部分:用粒子浓度监测提供与空气洁净度相关的洁净室性能的证据(ISO 14644-2-2015).德文版本EN ISO 14644-2-2015
英文标准名称：Cleanrooms and associated controlled environments - Part 2: Monitoring to provide evidence of cleanroom performance related to air cleanliness by particle concentration (ISO 14644-2:2015); German version EN ISO 14644-2:2015
标准类型：C46;C47
发布日期：1999/12/31 12:00:00
实施日期：1999/12/31 12:00:00
中国标准分类号：C46;C47
国际标准分类号：13.040.35
引用标准：ISO 14644-1-2015;ISO 14644-3-2005;ISO 14644-4-2001;ISO 14644-12;ISO 21501-4-2007;ISO 31000-2009