20194172-T-469 刻蚀机用硅电极及硅环正在征求意见

百检网 2021-08-05

标准号：20194172-T-469
中文标准名称：刻蚀机用硅电*及硅环
英文标准名称：Silicon electrode and silicon ring for plasma etching machine
标准状态：正在征求意见
标准类型：国标计划
发布日期：1999/12/31 12:00:00
实施日期：1999/12/31 12:00:00
国际标准分类号：29.045
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门：国家标准化管理委员会
起草单位：有研半导体材料有限公司
相近标准：刻蚀机用硅电*及硅环;DB34/T 3438-2019 清洗刻蚀含酸废液的循环再生利用技术要求;YB/T 5215-201
标准制修订：制订

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