标准号：SJ/T 11763-2020
中文标准名称：半导体制造设备人机界面规范
标准状态：现行
标准类型：行业标准
发布日期：2020/12/9 12:00:00
实施日期：2021/4/1 12:00:00
中国标准分类号：工业和信息化部电子工业标准化研究院
国际标准分类号：31.55
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门：工业和信息化部
起草单位：北京北方华创微电子装备有限公司
起草人：付金生
相近标准：GB/T 4205-2003 人机界面(MMI) 操作规则;GB/T 29845-2013 半导体制造设备的*终装配、包装
行业分类：无
SJ/T 11763-2020 半导体制造设备人机界面规范 现行
百检网 2021-08-05
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