20210888-T-469 碳化硅抛光片表面质量和微管密度的测试 共焦点微分干涉法 正在起草

标准号：20210888-T-469
中文标准名称：碳化硅抛光片表面质量和微管密度的测试 共焦点微分干涉法
英文标准名称：Test method for surface quality and micropipe density of polished silicon carbide wafers--Confocal and differential interferometry optics
标准状态：正在起草
标准类型：国标计划
发布日期：1999/12/31 12:00:00
实施日期：1999/12/31 12:00:00
国际标准分类号：77.040
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门：国家标准化管理委员会
起草单位：中国电子科技集团公司第四十六研究所
相近标准：  碳化硅抛光片表面质量和微管密度的测试 共焦点微分干涉法;SJ/T 11504-2015  碳化硅单晶抛光片表面质量的测试方
标准制修订：制订