20181809-T-469 硅单晶电阻率的测定 直排四探针法和直流两探针法 已发布

标准号：20181809-T-469
中文标准名称：硅单晶电阻率的测定 直排四探针法和直流两探针法
英文标准名称：Test method for measuring resistivity of monocrystal silicon—In-line four-point probe and direct current two-point probe method
标准状态：已发布
标准类型：国标计划
发布日期：1999/12/31 12:00:00
实施日期：1999/12/31 12:00:00
中国标准分类号：有色金属技术经济研究院有限责任公司
国际标准分类号：77.040
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门：国家标准化管理委员会
起草单位：中国电子科技集团公司第四十六研究所
起草人：刘兆枫
相近标准：GB/T 1551-2021  硅单晶电阻率的测定 直排四探针法和直流两探针法;  硅单晶电阻率的测定 直排四探针法和直流两探针
标准制修订：修订