SJ/T 11275-2002 卧式液相外延系统通用规范

百检网 2021-08-05

标准号：SJ/T 11275-2002
中文标准名称：卧式液相外延系统通用规范
英文标准名称：Generic specification for horizontal liquid phase epitaxial system
标准类型：L92
发布日期：2002/10/30 12:00:00
实施日期：2003/3/1 12:00:00
中国标准分类号：L92
国际标准分类号：29.260
适用范围：本规范规定了卧式液相外延系统的术语、产品型号及命名方法、技术要求、试验方法、检验规则以及包裝、运输、贮存。本规范适用于电子行业光电子器件研制、生产工艺中的卧式液相外延系统。其他行业的类似设备，亦可参照执行。

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