标准号：GB/T 18867-2002
中文标准名称：电子工业用气体 六氟化硫
英文标准名称：Gases for electronic industry--Sulfur hexafluoride
标准类型：G86
发布日期：2002/10/15 12:00:00
实施日期：2003/4/1 12:00:00
中国标准分类号：G86
国际标准分类号：71.100.20
适用范围： 本标准规定了电子工业用气体六氟化硫产品的技术要求、分析方法、检验规则以及包装、标志、运输、贮存和安全要求。 本标准适用于硫与氟反应生成并经精制和纯化制备的高纯度六氟化硫。该产品主要用作等离子蚀刻剂、掺杂剂、电子元器件的外延气或稀释载气等。
GB/T 18867-2002 电子工业用气体 六氟化硫
百检网 2021-08-05
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