SN/T 4384.1-2015 氮化镓单晶位错密度的测量 阴极荧光显微镜法 现行

标准号：SN/T 4384.1-2015
中文标准名称：氮化镓单晶位错密度的测量 阴*荧光显微镜法
英文标准名称：Test method for disoclation density of GaN single crystal—Cathodoluminescence spectroscopy
标准状态：现行
标准类型：国家标准
发布日期：2015/12/10 12:00:00
实施日期：2016/11/1 12:00:00
中国标准分类号：苏州纳维科技有限公司
国际标准分类号：77.040
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门：国家标准化管理委员会
起草单位：中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
起草人：曾雄辉
相近标准：20120269-T-469  氮化镓单晶位错密度的测量 阴*荧光显微镜法;GB/T 8760-2006  砷化镓单晶位错密度