20140159-T-609 蓝宝石晶锭应力测试方法 已发布

百检网 2021-08-06
标准号:20140159-T-609
中文标准名称:蓝宝石晶锭应力测试方法
英文标准名称:Test method for stress of monocrystalline sapphire ingot
标准状态:已发布
标准类型:国家标准
发布日期:2014/12/22 12:00:00
实施日期:2015/9/1 12:00:00
中国标准分类号:中国科学院上海光学精密机械研究所
国际标准分类号:77.040.10
归口单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门:国家标准化管理委员会
起草单位:协鑫光电科技(江苏)有限公司
起草人:刘逸枫
相近标准:20110057-T-469  蓝宝石晶锭应力测试方法;20132164-T-469  蓝宝石晶体缺陷图谱;GB/T 35316

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