标准号：DB11/T 1264-2015
中文标准名称：电子工业用气体 六氟化钨
英文标准名称：Gases for electronic industry—Tungsten hexaflouride
标准状态：现行
标准类型：国家标准
发布日期：2015/12/31 12:00:00
实施日期：2016/7/1 12:00:00
中国标准分类号：厦门钨业股份有限公司
国际标准分类号：71.100.20
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门：国家标准化管理委员会
起草单位：中国船舶重工集团公司第七一八研究所
起草人：郑秋艳
相近标准：GB/T 21287-2007 电子工业用气体 三氟化氮; 电子工业用气体 三氟化氮;20110735-T-469 电子工
DB11/T 1264-2015 电子工业用气体 六氟化钨 现行
百检网 2021-08-06
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