20112049-T-604 电子工业用气体锗烷已发布

百检网 2021-08-06

标准号：20112049-T-604
中文标准名称：电子工业用气体锗烷
英文标准名称：Gas for electronic industry—Germane
标准状态：已发布
标准类型：国标计划
发布日期：1999/12/31 12:00:00
实施日期：1999/12/31 12:00:00
中国标准分类号：佛山市华特气体有限公司
国际标准分类号：71.100.20
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门：国家标准化管理委员会
起草单位：上海华爱色谱分析技术有限公司
起草人：裴友宏
相近标准：GB/T 14601-2009 电子工业用气体氨;GB/T 16945-2009 电子工业用气体氩;GB/T 169
标准制修订：制订

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