20000355-T-491 用于测量关键尺寸(CD)的扫描电镜(SEM)参数描述及术语规范

百检网 2021-08-06

标准号：20000355-T-491
中文标准名称：用于测量关键尺寸(CD)的扫描电镜(SEM)参数描述及术语规范
标准类型：国标计划
发布日期：1999/12/31 12:00:00
实施日期：1999/12/31 12:00:00
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门：国家标准化管理委员会
起草单位：中国科学院微电子中心
相近标准：20154013-T-469 用于测量关键尺寸（CD）的扫描电子显微镜(SEM)参数描述及术语规范; 用于测量关键尺寸（CD
标准制修订：制订

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