GB/T 35310-2017 200mm硅外延片 现行

百检网 2021-08-06
标准号:GB/T 35310-2017
中文标准名称:200mm硅外延片
英文标准名称:200mm silicon epitaxial wafer
标准状态:现行
标准类型:国家标准
发布日期:2017/12/29 12:00:00
实施日期:2018/7/1 12:00:00
中国标准分类号:有色金属技术经济研究院
国际标准分类号:29.045
归口单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门:国家标准化管理委员会
起草单位:南京国盛电子有限公司
相近标准:20141871-T-469  200mm硅外延片;JB/T 6596-1993  滚齿机 精度(*大工件直径小于200mm);

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