标准号：GB/T 32650-2016
中文标准名称：电感耦合等离子质谱法检测石英砂中痕量元素
英文标准名称：Determining the content of trace elements in arenaceous quartz by inductively coupled plasma mass spectrometry(ICP-MS)
标准状态：现行
中国标准分类号:(CCS)L90
标准分类号:(ICS)31.030
发布日期:2016-04-25
实施日期:2016-11-01
主管部门:标准化管理委员会
归口单位:半导体设备和材料标准化技术委员会
主要起草单位
硅材料深加工产品质量监督检验中心 、中国电子技术标准化研究院 、东海县产品质量监督检验所 、江苏太平洋石英股份有限公司 。
主要起草人
李运强 、薄雷明 、冯亚彬 、管琪 、许振午 、武为民 、周文梅 。
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