离子束溅射镀膜与清洗多功能平台

百检网 2021-11-11

主要功能：离子束溅射镀膜与清洗多功能平台是在真空环境中，利用离子轰击靶材表面，使溅射出的粒子沉积在基片上，进而获得大面积纳米至微米级厚度的均匀膜层。

主要技术指标：1. *限真空度：≤6.0×10-5 Pa (经烘烤除气后)； 2. 系统真空检漏漏率：≤5.0x10-7 Pa.l/S； 3. 系统短时间暴露大气并充干燥氮气后，再开始抽气，40分钟可达到6.0×10-4 Pa；

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