二次离子质谱仪

百检网 2021-11-11
应用范围:  (1)样品组分和杂质元素纵向分布的深度剖析; (2)样品组分和杂质元素面分布的一维线扫描分析; (3)样品组分和杂质元素面分布的离子图象; (4)多层薄膜样品组分和杂质元素分布及界面情况分析; (5)厚度为几个微米绝缘层样品的深度剖析 学术特色: (1)进行包括元素氢(H)在内的全元素分析; (2)深度剖析IC工艺结深、表面金属化、背面金属化和表面钝化层等; (3)深度剖析半导体材料Si , GaAs , HgCdTe , Ge , AsGaIn 和 InP等中的杂质分布;(4)S

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