详细信息
主要技术指标：
1. 包含热阻式蒸发和电子束蒸发功能 2. *限真空≤6×10-5Pa；腔室从大气开始抽气，在≤40分钟内，其真空度≤6×10-4Pa；采用一台复合真空计测量真空度。 3. 镀膜过程中，衬底温度≤80℃ 4. Ø4英寸样品镀膜均匀度≤±5% 5. 全部操控均为电控并配置相应的互锁机构 6. 蒸发源与衬底间距260mm±40mm，精确可调 7. 样品转盘上可携挂1片4寸样片及其它小于4寸的小样片 8. 电子枪1套，其主要技术参数：一台6KW 电子枪；电子束偏转角270º；阳*电压有6KV和8KV两挡，面板切换；束流在0-750mA范围内可调；偏转电源：X方向扫描频率0-20Hz可调，Y方向扫描频率0-20Hz可调； 启动真空度：6.7×10-3Pa；枪电源高压灭弧自动复位。 9. 坩埚为四穴水冷铜坩埚，每个坩埚的尺寸为：20ml。可以电动换位。
主要功能：
多项蒸发镀膜技术的交叉结合，可以实现多种材料的高性能薄膜沉积。
服务信息
服务内容：
种材料的高性能薄膜沉积
收费标准：
600元/小时+300元/次工艺＋材料费
用户须知：
参考学校共享相关规定
