详细信息
主要技术指标：
高选择比各向异性刻蚀； 具有全自动以及全手动操作模式可供调整； 具有碰触屏使数值输入以及工艺配方的储存更容易； *大可处理直径8英寸晶片； 紧凑型设计可节省无尘室空间
主要功能：
刻蚀钝化材料如氮化硅、二氧化硅和氧氮化硅； 微型机械的生产； 失效分析
服务信息
服务内容：
刻蚀钝化材料如氮化硅、二氧化硅和氧氮化硅； 失效分析
收费标准：
来样评估
用户须知：
工作日9:00-17:30开放 使用时需至少提前**进行预约
