详细信息
主要技术指标：
1 炉内*高温度：2500℃；实验需求温度范围1800-2350℃。 2 实验材料： 高纯氮化铝粉料。 3 *大升温速率：120℃/min。 4 *限真空度：≤5×10－5pa。 5 压升率：≤0.67 Pa/h，气压的调节范围：在0 ～150kpa。 6 分子泵：抽速1200L/s。
主要功能：
开展AlN晶体的生长及其工艺研究
服务信息
服务内容：
高温晶体的气相沉积生长
收费标准：
5000
用户须知：
无
