详细信息
主要技术指标：
本底真空10-7Pa，衬底温度850度，激光能量100-800mJ
主要功能：
薄膜制备
服务信息
服务内容：
薄膜制备
收费标准：
300
用户须知：
平台向用户开放，为大型科研仪器设备共享提供信息查询、服务推介和网上预约等服务。大型仪器设备开放共享实行预约制。用户可从上海研发公共服务平台了解大型仪器设备的基本情况，提出预约申请，说明实验要求的条件、耗材和试剂等情况，以保证仪器设备按时提供共享服务；预约审批通过后，申请人应按时测样或送样，仪器设备管理人员为用户提供服务保障。因特殊情况不能及时测样或送样，应提前通知仪器设备管理人员取消预约。仪器设备开放共享实行成本核算、有偿使用、依规收费。收费标准由仪器设备所属部门根据仪器设备的运行和管理要求，据实测算服务成本，应包括耗材、试剂等实际消耗成本、设备折旧费用、仪器设备维护维修费用、水电消耗费、技术服务费和管理费等。
