脉冲激光溅射沉积系统

百检网 2021-11-11

主要技术指标

*限真空度：≤6.67x10-5 Pa (经烘烤除气后)；系统真空检漏漏率：≤5.0x10-7 Pa.l/S；系统从大气开始抽气，20分钟可达到5x10-3 Pa；激光入射口到地面的距离为1200mm

主要功能/应用范围

可用于各种纳米材料薄膜制备

服务内容

暂无

服务的典型成果

暂无

对外开放共享规定

不共享

参考收费标准

暂无

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