主要技术指标
分辨率:3.0 nm(30 kV), 8 nm(3 kV), 15 nm(1 kV). 放大倍率:5-300,000 (图像尺寸128mm*96mm). 加速电压:0.3kV-30kV. *大样品尺寸:200 mm 直径, 80 mm 高度 (WD10 mm). 样品台:大型全对中5轴马达驱动, X: 125 mm, Y: 100 mm, Z: 5 mm-80 mm. 倾斜: 10-90度,旋转: 360度.
主要功能/应用范围
观察样品二次电子像、背散射电子像.
服务内容
主要用于功能薄膜、纳米材料、金属材料等的表面形貌观察、粒度测量、失效分析等.
服务的典型成果
无
对外开放共享规定
优先用于本校教学科研.
参考收费标准
校内100元/小时,校外300元/小时.