主要技术指标
? 1mm垂直量程 / 16nm分辨率 为精密金属加工和其它应用提供形状(轮廓)和表面粗糙度测量能力。 ? 200mm的水平行程 首次在电感系统内推出,可以提供大的测量容积。标准的120mm水平行程也可以提供。 ? 0.50um/120mm水平直线度误差 用于高精度的轮廓测量,即使是相当大的工件。可选择基准校正来进一步提高仪器的水平直线度精度,来满足更高精度要求的应用。 ? 0.125um水平数据采样间隔 小的工件可以比以前测量的更加有效。测量时的启动长度和停止长度进一步的减少。 ? 450mm机动立柱
主要功能/应用范围
能够同时测量表面粗糙度、形状和轮廓的仪器。
服务内容
表面粗糙度、形状和轮廓测量
服务的典型成果
无
对外开放共享规定
无
参考收费标准
无