主要技术指标
原子氧束流密度:>2×101**O/cm2.s(在距中性化靶100-120mm处); 紫外波长:250nm~400nm; 紫外辐照强度:不小于5个太阳数; 样品台尺寸:Φ150mm; 样品台可升降范围:300mm; 样品台温度范围:-150℃~+150℃连续可调,控温精度±3℃; 真空容器外部尺寸:Φ1000mm×2000mm,真空容器两端开门; 工作真空度:1.3×10-2Pa; *限真空度:1×10-4Pa; 热沉内径Φ800mm,长1200mm; 残余气体分析仪:质量数200amu。
主要功能/应用范围
材料检测
服务内容
材料检测
服务的典型成果
无
对外开放共享规定
预约设备需提前电话联系负责人确定具体时间等细节
参考收费标准
1800元/时