多轴闭环压电纳米定位系统

百检网 2021-11-11

主要功能：高精度移动材料，改变材料与光的相对位置，得到不同的实验结果

主要技术指标：三维，行程15mm，载重2Kg，步进精度20nm，重复定位精度优于0.1um

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