分子束外延系统

百检网 2021-11-11

激光分子束外延系统（LMBE）是在传统的分子束外延（MBE）和脉冲激光沉积系统（PLD）的基础上发展而来的，PLD与提供原位监测的反射高能电子衍射仪（RHEED）相结合，使得系统能够实现类似于MBE的，单原子层精度的薄膜生长。相比于MBE的热蒸发，它是使用脉冲激光的高能量使材料蒸发甚至电离，因此被称作LaserMBE（激光分子束外延系统）。LMBE属于高端薄膜制备设备，适用于生长各种纳米尺度的单层膜或多层膜。

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