等离子体化学气相沉积装置及诊断系统

百检网 2021-11-11

实验室主要是利用该PECVD设备进行化合物薄膜的制备工作，从而可以大面积、高速率、低成本地制备出光电性质优良、薄膜厚度均匀、组分结构多样的高质量薄膜；同时，经由其诊断系统探究等离子体组成成分及其密度和温度，为实时监测等离子体参数和低温等离子体的工业化推广奠定坚实基础。

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