标准简介
本规范规定了所有光掩模上使用的对准标记的形状、尺寸范围和一般位置。本规范适用于光掩模。英文名称：Specification for registration marks for photomasks
标准状态：现行
中标分类：电子元器件与信息技术>>电子工业生产设备>>L95电子工业生产设备综合
ICS分类：电子学>>31.200集成电路、微电子学
发布部门：国家技术监督局
发布日期：1996-09-09
实施日期：1997-05-01
出版日期：2004-04-10
页数：平装16开， 页数：6， 字数：6千字
前言
电子工业生产设备综合相关标准
.png)
.png)
