标准简介
本标准规定了用扫描电镜测量微米级长度的方法，适用于测量0.5～10μm的长度，也适用于电子探针分析仪测量微米级长度。英文名称：Micron grade lenght measurement by SEM
标准状态：作废
替代情况：被GB/T 16594-2008代替
中标分类：仪器、仪表>>光学仪器>>N33电子光学与其他物理光学仪器
ICS分类：计量学和测量、物理现象>>长度和角度测量>>17.040.01长度和角度测量综合
发布部门：国家技术监督局
发布日期：1996-01-01
实施日期：1997-04-01
作废日期：2009-05-01
出版日期：2004-04-10
页数：平装16开， 页数：6， 字数：6千字
前言
电子光学与其他物理光学仪器相关标准
