标准简介
本标准规定了半导体硅抛光片和外延片表面常见缺陷的光反射无损检验方法。本标准适用于半导体硅抛光片和外延片表面质量的无损检验。本标准的检验结果与GB/T 6624、GB/T 14142的检验结果一致。英文名称：Test method for the surface quality of polished silicon wafers and epitaxial wafers by optical-reflection
标准状态：作废
中标分类：冶金>>金属理化性能试验方法>>H24金相检验方法
ICS分类：电气工程>>29.045半导体材料
发布部门：国家技术监督局
发布日期：1997-01-02
实施日期：1998-08-01
作废日期：2005-10-14
出版日期：2004-04-12
页数：平装16开， 页数：10， 字数：15千字
前言
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