标准简介
本标准规定了生长硅的高纯蓝宝石单晶抛光衬底片的技术要求、测试方法、检验规则。本标准适用于制备半导体器件的生长硅的高纯蓝宝石单晶抛光衬底片。英文名称：Polished monocrystalline sapphire substrates
标准状态：现行
替代情况：废止公告：国家标准公告2017年第31号
中标分类：电子元器件与信息技术>>电子设备专用材料、零件、结构件>>L90电子技术专用材料
ICS分类：29.040.30
发布部门：国家技术监督局
发布日期：1992-01-02
实施日期：1993-08-01
作废日期：2017-12-15
出版日期：2004-08-13
页数：平装16开， 页数：10， 字数：16千字
前言
电子技术专用材料相关标准
