GB/T 14141-1993 硅外延层,扩散层和离子注入层薄层电阻的测定 直排四探针法

百检网 2022-10-20

标准简介

本标准规定了用直排四探针测量硅外延层、扩散层和离子注入层薄层电阻的方法。本标准适用于测量直径大于10.0mm用外延、扩散、离子注入到硅圆片表面上或表面下形成的薄层的平均薄层电阻。硅片基体导电类型与被测薄层相反。对于厚度为0.2~3μm的薄层,测量范围为250~5000Ω;对于厚度不小于3μm的薄层,薄层电阻的测量下限可达10Ω。
英文名称:Test method for sheet resistance of silicon epitaxial, diffused and ion-implanted layers using a collinear four-probe array
标准状态:作废
替代情况:被GB/T 14141-2009代替
中标分类:冶金>>金属理化性能试验方法>>H21金属物理性能试验方法
ICS分类:29.040.30
发布部门:国家技术监督局
发布日期:1993-02-06
实施日期:1993-10-01
作废日期:2010-06-01
页数:平装16开, 页数:6, 字数:9千字

前言

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