标准简介
本标准规定了瓶装电子工业用气体---三氟化氮的技术要求、试验方法、检验规则及包装、标志、运输、储存和安全。 本标准适用于电子工业用三氟化氮。它主要用作电子工业中等离子体工艺等离子体刻蚀剂和化学气相沉积的清洗剂。英文名称：Gases for electronic industry—Nitrogen trifluoride
标准状态：作废
替代情况：被GB/T 21287-2021代替
中标分类：化工>>其他化工产品>>G86工业气体与化学气体
ICS分类：化工技术>>化工产品>>71.100.20工业气体
发布部门：国家质量监督检验检疫.
发布日期：2007-12-14
实施日期：2008-07-01
作废日期：2022-05-01
出版日期：2008-07-01
页数：20页
前言
本标准根据SEMI(半导体材料和设备国际组织)的《三氟化氮》(SEMIC3.39-0304)2004年版标准,并结合我国三氟化氮生产的实际情况制定。本标准的附录C 为规范性附录,附录A、附录B、附录D 为资料性附录。本标准由全国半导体材料和设备标准化技术委员会气体分会(SAC/TC203/SC1)提出并归口。本标准由湖北沙隆达天门农化有限责任公司、中国船舶重工集团公司第七一八研究所负责起草。本标准参加起草单位有:核工业理化研究院特气中心、中核红华特种气体有限公司、黎明化工研究院、国家标准物质研究中心、西南化工研究设计院等。本标准主要起草人:余启富、宋再卿、刘新明、戴龙侠、方治文、牛学坤、金美兰、任清贵、王少楠。本标准为首次发布。
