标准简介
本标准规定了电子工业用气体高纯氨的技术要求,试验方法,检验规则及产品的包装、标志、运输、贮存及安全要求。本标准适用于瓶装高纯氨。该产品主要用于半导体工业,氮化硅的化学气相淀积,也可用于硅或氧化硅的氮化。英文名称:Gases for electronic industry. High purity ammonia
标准状态:作废
替代情况:被GB/T 14601-2009代替
中标分类:化工>>其他化工产品>>G86工业气体与化学气体
ICS分类:化工技术>>化工产品>>71.100.20工业气体
发布部门:国家技术监督局
发布日期:1993-08-26
实施日期:1994-07-01
作废日期:2010-05-01
页数:5页
前言
工业气体与化学气体相关标准