标准简介
本标准规定了氨的技术要求,试验方法,检验规则及产品的包装、标志、运输、贮存及安全要求。 本标准适用于半导体工业,氮化硅、氮化镓的化学气相淀积,也可用于硅或氧化硅的氮化。英文名称：Gas for electronic industry—Ammonia
标准状态：现行
替代情况：替代GB/T 14601-1993
中标分类：化工>>其他化工产品>>G86工业气体与化学气体
ICS分类：化工技术>>化工产品>>71.100.20工业气体
发布部门：国家质量监督检验检疫.
发布日期：2009-10-30
实施日期：2010-05-01
出版日期：2010-05-01
页数：12页
前言
本标准代替GB/T14601-1993《电子工业用气体 氨》。本标准与GB/T14601-1993相比主要变化如下:---修改标准的名称;---修改适用范围(GB/T14601-1993的第1章,本版的第1章);---修改规范性引用文件(GB/T14601-1993的第2章,本版的第2章);---修改技术指标内容(GB/T14601-1993的第3章,本版的第3章);---增加对氨尾气处理的要求(见4.3);---删去按GB5831规定的方法测定氧含量(GB/T14601-1993的4.2.1);---修改氧、氮、一氧化碳含量的测定(GB/T14601-1993的4.2、4.3、4.4,本版的4.4);---增加氢、氩含量的测定(见4.4);---增加二氧化碳含量的测定(见4.4);---修改烃含量的测定(GB/T14601-1993的4.5,本版的4.4);---修改水含量的测定方法(GB/T14601-1993的4.6,本版的4.5);---增加金属离子的测定方法(见4.6);---修改标志、包装、贮运及安全(GB/T14601-1993的第6章、第7章,本版的第5章);---增加规范性附录A,并把采用氦放电离子化气相色谱法测定氨中的氢、氧(氩)、氮、一氧化碳、二氧化碳和烃(C1~C3)含量组分的方法写入该附录(见附录A)。本标准的附录A 为规范性附录。本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会提出。本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分会归口。本标准起草单位:大连光明化工研究院、中国西南油气田成都天然气化工总厂、武汉市鼎立化工有限责任公司、西南化工研究设计院。本标准主要起草人:孙福楠、刘泽军、付永成、谢国清、周鹏云。本标准所代替标准的历次版本发布情况为:---GB/T14601-1993。
