标准简介
本标准规定了质谱检漏仪的校准程序。它仅适用于校准将灵敏件处于高真空系统中的检漏仪。因此这个方法没有制订完整的验收试验。本标准规定探索气体使用氦-4。但在适当的预防措施下，可以使用其他探索气体，如氩-40。本标准的应用受到检漏仪不能测定小于10-12Pa·m3·s-1漏率漏孔限制。本标准程序提出了测定*小可检漏率和*小可检浓度比的两个要点。它分别应用于高真空和压力大于一个大气压的检漏仪上。英文名称：Vacuum technology--Mass-spectrometer-type leak detector calibration
标准状态：现行
中标分类：机械>>通用机械与设备>>J78真空技术与设备
ICS分类：流体系统和通用件>>23.160真空技术
发布部门：国家质量技术监督局
发布日期：2000-09-02
实施日期：2001-02-01
页数：16页
前言
真空技术与设备相关标准
