标准简介
本标准规定了真空镀膜设备技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存等。本标准适用于压力在１０－１～１０－３Ｐａ范围的蒸发类、溅射类、离子镀类真空镀膜设备。英文名称：Vacuum coating plant generic specification
标准状态：作废
替代情况：GB/T 11164-1989;被GB/T 11164-2011代替
中标分类：机械>>通用机械与设备>>J78真空技术与设备
ICS分类：流体系统和通用件>>23.160真空技术
发布部门：国家质量技术监督局
发布日期：1999-04-08
实施日期：1999-09-01
作废日期：2012-06-01
出版日期：2004-04-09
页数：平装16开， 页数：8， 字数：9千字
前言
真空技术与设备相关标准
