标准简介
本标准定义了扫描电子显微术(SEM)实践中使用的术语。包括一般术语和按技术分类的具体概念的术语,也包括已经在ISO23833中定义的术语。 本标准适用于所有有关SEM 实践的标准化文件。另外,本标准的某些术语定义,也适用于相关领域的文件〔例如:电子探针显微分析(EPMA)、分析电子显微术(AEM)、能谱法(EDX)等〕。英文名称：Microbeam analysis - Scanning electron microscopy - Vocabulary
标准状态：现行
中标分类：仪器、仪表>>光学仪器>>N33电子光学与其他物理光学仪器
ICS分类：01.040.37:37.020
发布部门：国家标准化管理委员.
发布日期：2009-04-01
实施日期：2009-12-01
出版日期：2009-12-01
页数：32页
前言
本标准等同采用国际标准ISO22493:2008《微束分析 扫描电子显微术 术语》(英文版)。为了便于使用,本标准做了下列编辑性修改:---本国际标准一词改为本标准;---删除国际标准的前言。---扫描电子显微镜简称扫描电镜。---增加了中文索引。本标准由全国微束分析标准化技术委员会提出并归口。本标准起草单位:中国科学院上海硅酸盐研究所。本标准主要起草人:李香庭、曾毅。
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